線路檢測
測長檢測系統
測長檢測系統能對所有線路進行”量測”辨識線路的生成狀態、可挑選只想檢出的缺陷。
測長檢測系統的優勢
圖形比對檢測必須避開製程不穩定的部分才行。測長檢測系統”量測”所有線路對生成狀態進行辨識、可桃選只想檢出的缺陷。
小於1像素演算
運用獨自的小於1像素演算達到取像解析度小於1像素的小數點量測。
無需過度的解析度。
輸出測量值
能顯示線路的測量值並能進行輸出、於檢測同時亦能活用在生產數據上。
孔檢測
全孔量測檢測
運用測長檢測系統、能對所有孔徑進行量測。從放射線狀的孔徑量測情報來辨識孔形狀並進行檢測。
柔軟對應孔形狀
通孔、雷射孔等雖因孔的成像不同亦皆能各自對應檢測。雷射孔可針對頂部與底部、雙方進行量測。
測量值輸出
能顯示孔的測量值並能進行輸出、於檢測同時亦能活用在生產數據上。
圖形比對檢測
灰階比對
擁有灰階比對比較輝度差異的圖形比對邏輯。線路、孔部位用測長檢測系統、其它部位用圖像比對的方式、運用2種方式同時進行檢測。
Pentagon System
獨自的缺陷篩選邏輯可對缺陷做自動分類
以往的檢測
INSPEC的話