技術介紹

線路檢測

測長檢測系統

測長檢測系統能對所有線路進行”量測”辨識線路的生成狀態、可挑選只想檢出的缺陷。

測長檢測系統的優勢

圖形比對檢測必須避開製程不穩定的部分才行。測長檢測系統”量測”所有線路對生成狀態進行辨識、可桃選只想檢出的缺陷。

小於1像素演算

運用獨自的小於1像素演算達到取像解析度小於1像素的小數點量測。

無需過度的解析度。

輸出測量值

能顯示線路的測量值並能進行輸出、於檢測同時亦能活用在生產數據上。

孔檢測

全孔量測檢測

運用測長檢測系統、能對所有孔徑進行量測。從放射線狀的孔徑量測情報來辨識孔形狀並進行檢測。

孔徑大
孔徑小
孔偏
扁平度異常(變形)
扁平度異常(殘渣)
無孔

柔軟對應孔形狀

通孔、雷射孔等雖因孔的成像不同亦皆能各自對應檢測。雷射孔可針對頂部與底部、雙方進行量測。

通孔 雷射孔

測量值輸出

能顯示孔的測量值並能進行輸出、於檢測同時亦能活用在生產數據上。

圖形比對檢測

灰階比對

擁有灰階比對比較輝度差異的圖形比對邏輯。線路、孔部位用測長檢測系統、其它部位用圖像比對的方式、運用2種方式同時進行檢測。

Pentagon System

獨自的缺陷篩選邏輯可對缺陷做自動分類

以往的檢測

・找修比檢測更花時間・找修的必要性不足・找修機佔空間 1檢測機 2從檢測機輸出的缺陷圖像 3跟軟體找修分頭進行篩選 4人員在找修機進行確認 檢查完成

INSPEC的話

・獨自的缺陷分類系統對檢出的缺陷做自動分類。大幅提升作業效率。・缺陷分類判定可參數化自行調整・不確定的缺陷資料可由人員在找修系 統SV100上判斷 1檢測機 2獨自的缺陷篩選邏輯可對缺陷做自動分類 3大幅減少軟體找修、找修的工時 檢查完成