基板AOI
基板AOI
SX1000
場所を取らないコンパクトボディ
シート・フレーム・トレー状態でも検査が可能
PRODUCT OUTLINE | |
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装置サイズ | W890 x D1,610 x H1,600mm |
対応基板サイズ | 300mm x 400mm |
対応L/S | 15um/15um ~ |
対象検査 | |
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配線検査 | |
穴検査 | |
無地検査 |
対象製品 |
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基板AOI
SX3600/SX5600
ライン/スペース=5/5 μmに対応したハイエンドモデル
配線検査からレーザービア検査まで超高精度に実現
PRODUCT OUTLINE | |
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装置サイズ | W1,280 x D2,200 x H1,890mm |
対応基板サイズ | 600mm x 600mm |
対応L/S | 5um/5um ~ |
対象検査 | |
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配線検査 | |
穴検査 | |
無地検査 |
対象製品 |
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基板AOI
SX6000G
ガラスマスク専用検査装置
透過照明、反射照明でも検査が可能
PRODUCT OUTLINE | |
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装置サイズ | W1,280 x D2,200 x H1,890mm |
対応基板サイズ | 600mm x 600mm |
対応L/S | 5um/5um ~ |
対象検査 | |
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配線検査 | |
穴検査 | |
無地検査 |
対象製品 |
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