光罩
基板AOI
SX6000G
光罩专检机
能透射光、反射光的检测
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 机台尺寸 | W1,280 x D2,200 x H1,890mm |
| 对应产品尺寸 | 600mm ｘ 600mm |
| 对应线宽/线距 | 5um/5um ～ |
| 检测对象 | |
|---|---|
| 线路检测 |  |
| 孔检测 | |
| 底材检测 | |
| 产品别 |
|---|
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软体找修系统
SV100
能对检测结果跟NG小图进行找修作业
远端(办公室/海外等)亦可进行找修作业
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 机台尺寸 | － |
| 对应产品尺寸 | － |
| 产品别 |
|---|
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数据分析系统
DM100
统计检测结果的确认软体
看统计画面便可一眼确认结果
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 机台尺寸 | － |
| 对应产品尺寸 | － |
| 产品别 |
|---|
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自动分类缺陷系统
Pentagon
INSPEC独自开发的缺陷筛选逻辑"iDSA"可大幅缩短找修时间
| PRODUCT OUTLINE | |
|---|---|
| 机台尺寸 | － |
| 卷产品宽度 | － |
| 产品别 |
|---|
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